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五氟化鉭

五氟化鉭
五氟化鉭,化學式TaF5,白色結晶。折光能力強。相對密度4.74。熔點96.8℃。沸點229.5℃。
中文名
五氟化鉭
化學式
TaF5
水溶性
溶于水和乙醚
應    用
生產電容器,也用于化學氣相沉積
tantalum pentafluoride
分子式:TaF5
稍溶于熱的二硫化碳和四氯化碳溶液中,溶于水和乙醚生成氟氧絡合離子TaOF52-和氟化氫,亦溶于氫氟酸、硝酸、發煙硝酸。在空氣中吸濕而不水解。能緩慢腐蝕玻璃。氟化金屬制得。也可由五氯化鉭無水氟化氫作用制得。用作傅-克反應的催化劑。用于生產電容器,也用于化學氣相沉積。鉭粉直接氟化可制取純度大于99%的產品。在微電子工業中用作氣相淀積硅化鉭或鉭,以制作低電阻高熔點的互連線。

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