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氟化學產品

氟化學產品

全氟丁二烯、六氟-1,3-丁二烯、C4F6

全氟丁二烯、六氟-1,3-丁二烯、C4F6
全氟丁二烯/C4F6作為一種溫室效應GWP極低,綠色環保的高效干蝕刻氣體,具有更快刻蝕速率、更高選擇性和更高精確性,更適合于高深寬比的蝕刻工藝。

產品信息概括

項目

說明

化學名稱

全氟丁二烯,六氟-1,3-丁二烯

CAS號

685-63-2

ODP

0

GWP100年

<1

大氣停留時間(天)

1.1

 

物化性質

屬性

化學名稱

全氟丁二烯,六氟-1,3-丁二烯

結構式

CF2=CF-CF=CF2

分子式

C4F6

分子量

162.03

沸點(℃)

6

凝固點(℃)

-130

臨界溫度(℃)

139.6

臨界壓力(bar)

31.9

液體密度(15℃,kg/l)

1.44

蒸汽密度(kg/m3,@15℃)

6.8

蒸汽壓(25℃,bar)

2.11

汽化潛熱(熔點時,1.013bar情況下,kJ/kg)

161.8

空氣中的可燃范圍(%vol)

7-73

包裝規格:4.64L/10.2L/44L 鋼瓶


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