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氟化學產品

氟化學產品

六氟異丁烯/HFIB

 六氟異丁烯/HFIB
作為一種低GWP值的綠色環保新型干法刻蝕氣體,可應用于半導體的前段刻蝕。

 產品信息概括

項目

說明

化學名稱

六氟異丁烯;2-三氟甲基-3,3,3-三氟丙烯;HFIB

CAS號

382-10-5

分子式

C4H2F6

分子量

164.05

沸點(101.325kPa,℃)

14.5

溶解度(23℃, g/L)

0.23

密度(101.325kPa,g/cm3)

1.39

包裝規格:4.64L/10.2L/44L鋼瓶

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