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電子高純特種氣體?遠創氣體大量供應

  • 發布時間:2022-01-16
  • 發布者: 本站
  • 來源: 原創
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電子氣體簡介

電子特種氣體(簡稱電子特氣)是特種氣體的一個重要分支,是集成電路(IC)、平面顯示器件(LCD、 LED、OLED)、太陽能(9.9600.131.32%)電池等電子工業生產不可或缺的原材料。

通常半導體生產行業,將氣體劃分成常用氣體和特殊氣體兩類。其中,常用氣體指集中供給而且使 用非常多的氣體,比如 N2、H2、O2、Ar、He 等。特種氣體指半導體生產環節中,比如延伸、離子注進、 摻和、洗滌、遮掩膜形成過程中使用到一些化學氣體,也就是氣體類別中的電子氣體,比如高純度的 SiH4、 PH3、AsH3、B2H6、N2O、NH3、SF6、NF3、CF4、BCl3、BF3、HCl、Cl2 等,在 IC 生產環節中,使用 的電子氣體有差不多有 100 多種,核心工段常見的在 30 種左右。正是這些氣體通過不同的制程使硅片具 有半導體性能,它又決定了集成電路的性能、集成度、成品率。即使是某一種某一個特定雜質超標,都將 導致質量嚴重缺陷,嚴重時會因不合格氣體的擴散,導致整個生產線被污染,乃至生產全面癱瘓。因此, 電子氣體是電子制造過程關鍵基礎材料,是名副其實的電子工業“血液”。

電子氣體的原料主要為空氣分離氣體、石油化工和煤化工生產過程中產生的低純度原料氣、廢氣和 其它基礎化工原料。主要原材料來源廣泛,市場供應充足,較容易從相關原材料供應廠家獲得。我國大型 煉鋼企業以及化肥企業基本配備了空氣分離設備,空分氣體供應量大且價格穩定。電子特種氣體對原料 氣體的消耗量占石油化工和煤化工原料氣產量的比例很小,穩定的石化和基礎化工行業能向電子特種氣 體行業提供充足的原材料?!笆濉币巹潓Νh境保護以及工業廢氣排放目標的進一步明確,上游行業的 供應將更為充足。氣體容器因能長期使用,在電子氣體成本中占比較低,價格波動對行業影響較小。

電子氣體的分類及應用 

電子氣體種類繁多,在電子產品制作工藝中應用廣泛。目前常用的電子氣體純氣有 60 多種,混合氣 有 80 多種。電子氣體可分為純氣、高純氣和半導體特殊材料氣體三大類。特殊材料氣體主要用于外延、 摻雜和蝕刻等工藝;高純氣體主要用作稀釋氣和運載氣。

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